中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

中芯国际集成电路制造 (上海)有 限公司绝缘栅双极型晶体管 (IGBT)工艺平台开发项目

                                                 职业病危害预评价报告信息公开表

建设单位

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

项目名称

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司绝缘栅双极型晶体管IGBT)工艺平台开发项目

建设地址

拟利用中芯国际上海公司位于张江路18号厂区内已建 FAB9厂3楼及 FAB10 厂 2 楼部分场地(总计约 120 ㎡)开展项目 

存在的主要职业病危害因素

化学毒物(氨、丙酮、丙烯酸聚酯类、丙二醇单甲醚醋酸、丙二醇单甲醚、甲氧基丙基乙酸、丁氧基乙醇、二氧化硅、六甲基二硅胺烷、1-甲氧基-2-丙醇乙酸酯,丙二醇单甲醚醋酸,2-庚酮,酚醛清漆树脂衍生物,聚氢氧基乙稀苯型树脂,3-甲氧基丁基乙酸酯、四甲基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵)、物理因素(噪声、紫外辐射、激光辐射、高频电磁场)

评价结论

(一) 职业病危害风险分类

根据国民经济行业分类,本项目属于集成电路制造业 C3963。

本项目在建设项目职业病危害风险分类管理目录(2012年版)中列入“二、制造业-(二十六)计算机、通信和其他电子设备制造业”,为“职业病危害风险较重”的建设项目。

本项目原料采用管道输送至各使用点;使用的原辅物料以有机溶剂类为主,其中属高毒物品的为“氨”,生产方式以现场计算机操作控制为主,设备自动化程度较高,密闭性强。

基于以上分析,综合判定本项目仍为“职业病危害风险较重”的项目。

(二)综合结论

根据国家有关职业卫生法律、法规、标准和规范的要求,通过对中芯国际集成电路制造(上海)有限公司绝缘栅双极型晶体管(IGBT)工艺平台开发项目的职业卫生调查、类比企业职业病危害因素检测数据分析与评价,公司提供的总平面图、生产设备清单、职业卫生管理制度、职工健康检查资料以及其他资料的综合分析,综合评价结论如下:

(1) 总体布局

该项目功能分区明确,工艺流畅,布局合理,总体布局符合工业企业设计卫生标准的相关要求。

(2) 生产工艺及设备

本项目采用的生产工艺技术路线合理可行,工艺选择、设备选择、自动化程度符合工业企业设计卫生标准的要求。

(3) 建筑设计卫生学

本项目综合考虑了洁净生产车间的通风要求,采光、照明设计参数符合《洁净厂房设计规范》、《建筑照明设计标准》和《建筑采光设计标准》的要求;建筑物结构设计等符合《工业企业设计卫生标准》要求。

(4) 职业病危害因素

本项目在生产工艺过程中产生的主要职业病危害因素有:化学毒物(氨、丙酮、丙烯酸聚酯类、丙二醇单甲醚醋酸、丙二醇单甲醚、甲氧基丙基乙酸、丁氧基乙醇、二氧化硅、六甲基二硅胺烷、1-甲氧基-2-丙醇乙酸酯,丙二醇单甲醚醋酸,2-庚酮,酚醛清漆树脂衍生物,聚氢氧基乙稀苯型树脂,3-甲氧基丁基乙酸酯、四甲基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵)、物理因素(噪声、紫外辐射、激光辐射、高频电磁场)。

经类比调查分析,在正常生产状态下,上述职业病危害因素浓(强度)可以控制在国家职业卫生接触限值范围内。

(5) 职业病危害防护设施

本项目生产厂房采用洁净厂房设计,生产区域设通风防毒措施;拟设的防毒、防噪声、防非电离辐射、防激光、防紫外辐射的技术措施符合工业企业设计卫生标准工作场所防止职业中毒卫生工程防护措施规范的有关要求。

(6) 职业病危害个人防护用品

建设单位建有个人防护用品管理制度,拟为各岗位人员配备防毒、防辐射、防噪声等个人防护用品,由工业安全卫生环保科负责个人防护用品的发放、管理及佩戴情况监督。符合个体防护装备选用规范的要求。

(7) 应急救援设施

建设单位制定了应急救援制度和预案,配备了较为完善的急救设施和人员,符合工业企业设计卫生标准工作场所有毒气体检测报警装规范的要求。

(8)

本项目拟沿用厂区原有辅助用室。辅助用室配置符合《工业企业设计卫生标准的要求。

(9) 职业卫生管理

建设单位原有职业卫生管理机构和职业卫生人员设合理;有健全、完善的职业卫生管理制度,制度的执行落实情况较好;职业卫生档案资料的管理已按要求进行管理。该公司的职业卫生管理工作符合工作场所职业卫生监督管理规定的相关要求。

(10) 职业健康检查

建设单位建有健康监护制度,并为劳动者建立了职业健康监护档案。按照劳动者实际接触的职业病危害因素开展劳动者上岗前、在岗期间及离岗的职业健康检查,并将检查结果告知劳动者。符合用人单位职业健康监护监督管理办法职业健康监护技术规范的要求。

综上所述,本项目建设单位如在设计、施工过程中能严格执行国家有关职业病防治的法律、法规和规定,并切实落实现阶段相关设计以及本报告提出的各项防护措施和建议,项目在职业病危害控制方面是可行的。

 

评价建议

(一)持续改进性建议

1.1 职业卫生管理

1)本项目接触危险化学品的岗位,存在发生急性职业危害的可能,职业卫生管理人员应针对项目涉及到的物质,制订有针对性的管理办法,明确其储存、运输情况,做好使用记录,加强对接触危害因素岗位的监管,为其发放防护系数较高的个体防护用品,并督促其按要求使用;同时制定、健全有针对性的应急救援预案,使工人熟知急性职业病危害事故的应急救援程序,以便对发生急性职业危害的情况进行管理和指导;对预案进行及时修订,以提高其适用性和可操作性。

2)加强对作业人员的个人防护用品佩戴的监督及管理。

3)应在工作场所醒目位完善相应的职业病危害警示标识和中文警示说明,警示标识的安装位和数量应满足工作场所职业病危害警示标识的相关要求,职业病危害警示标识设情况参见表 Z 6-1:

4)在正常生产后,公司应严格按照已制定的相关职业卫生管理制度中的规定,切实有效地开展相关工作,将职业病防治措施落实到实际生产过程中。

开展职业健康教育与健康促进活动,对工人进行职业卫生知识与防护技能教育、一般卫生知识教育和职业卫生法制教育,提高工人的自我保护意识。同时加强个人职业病防护用品使用现场监督管理,督促工人正确使用个人防护用品,切实保护工人健康。

针对日常检测结果,对作业场所做好动态管理,确保作业场所职业危害因素浓(强)度控制在职业接触限值范围内。

5)进一步完善职业卫生档案建立及管理。按照职业卫生档案管理规范的要求,建立健全建设项目职业卫生“三同时”档案职业卫生管理档案职业卫生宣传培训档案职业病危害因素检测与检测评价档案用人单位职业健康监护管理档案劳动者个人职业健康监护档案等资料文件;并设立档案室或指定专门的区域存放职业卫生档案,指定专门的机构和专(兼)职人员负责管理;做好职业卫生档案的归档工作,按年度或建设项目进行案卷归档,及时编号登记,入库保管;严格职业卫生档案的日常管理,防止出现遗失。

1.2 设备管理

1)设备安全管理

集成电路芯片生产过程中,设备管理是预防泄漏意外事故发生的要素之一,因此本项目应重点关注设备自身安全和防泄漏措施。应尽可能采取自动化流程,减少人工操作失误;设备应具备双重防护功能并保持密闭,安装泄漏集液箱和检测报警器,使用腐蚀材料的设备要防腐,使用化学物质的设备应采用防溶解材质,设备和管道应有危害警示标识,说明内部的反应物质、流向和可能发生的各类意外;输送有毒气体的设备应具有低压连锁防护,未达一定真空度,气体不得进入;易燃和氧化气体不可在进入反应器前混合,以防爆炸;

2)设备检维修的职业病危害防护

本项目在设备检维修过程中可能存在多种有毒有害化学物质的危害。建设方应制定详细的检修计划,做到项目齐全、内容详细、责任明确、措施具体。进行设备检维修时,应先冲洗设备,使作业环境中有害物质浓度符合工作场所有害因素职业接触限值及相应职业卫生标准的要求或达到安全要求后再作业。检维修人员需正确佩戴个人防护用品,同

时现场要配备应急防护用品,以备救援之用。

3)设备维护保养

本项目生产设备及职业病危害防护设施应设专人经常检查,定期维修维护,以保证工作场所空气中职业病危害因素的浓(强)度符合职业接触限值要求,并建立完善工程防护设施档案,内容应包括工程防护设施清单、防护设施的操作规程、维修及定期大修要求、防护设施的安装、调试验收记录、防护设施的使用记录、防护设施的维修记录(包括维修责任人、维修原因、维修日期、维修人)等。

1.3 人员管理

1)岗位操作规程

集成电路芯片的加工生产工序较多,应通过规范操作人员的岗位操作规程来避免人为失误,以达到预防中毒意外事故的发生。应采取各种培训方式,有针对性地实施培训和考核,使作业人员能有效预防和控制意外事故。设备检维修保养时应严格按照操作过程进行,避免意外事故发生。

2)个人防护用品使用

本项目职业卫生管理人员应按照个体防护装备选用规范有机溶剂作业场所个人职业病防护用品使用规范等相关标准要求,定期对作业人员个体防护用品的使用情况进行监督,指导工人按要求佩戴相应的个体防护用品,使工人掌握各岗位职业病危害特点及相应的个人防护知识,保证防尘、防毒等个体防护用品的正常使用。

1.4 急性职业中毒的预防和应急救援原则

(1) 急性职业中毒事故的预防

急性职业中毒事故经常是由于生产管理不善、设备缺陷、违章操作、防护不当及工人缺乏上岗培训等原因而造成的。为了预防中毒事故发生、或在事故发生后有效控制事故的危害,尽可能减少人、财、物的损失和对环境的不利影响,项目投产后应采取以下急性中毒事故的预防措施:

A. 对毒物生产、储存、使用及运输情况,建立有毒化学品档案;

B. 产生毒物的作业场所,应在醒目位设立警示标识和中文警示说明;

C. 制定危险化学品的预防措施及应急救援预案。有毒作业场所设有效通风装。有可能发生泄漏和易滋生急性中毒的场所,应设自动报警装和事故通风设施,高毒作业场所还应设应急撤离通道和必要的泄险区;

D. 建立训练有素的急救队伍,并充分做好急救物资准备,一旦发生中毒事故,能立即投入使用。定期开展应急救援演练,提高急救队伍的应急救援能力;

E. 对生产工人进行职业卫生培训,普及职业中毒急救知识,提高防范意识。

(2) 本项目主要依托中芯国际上海公司现有应急预案。事故发生后,应根据具体情况采取应急措施,切断泄漏源、火源,控制事故扩大,同时通知中央控制室,根据事故类型、大小启动相应的应急预案;发生重大事故,应立即上报相关部门,启动社会救援系统,就近地区调拨到专业救援队伍协助处理。发生泄漏事故时,应采取以下应急措施:

A. 迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。

B. 切断火源,尽可能切断泄漏源,防止进入下水道等限制性空间。

C. 应急处理人员戴自给式呼吸器,穿消防防护服。

D. 用防爆泵转移至槽车或专用收集器内,回收或运至废物处理场所处

E. 对皮肤接触人员应脱去被污染的衣着,用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤;眼睛接触人员应提起眼睑,用流动清水或生理盐水冲洗,就医;吸入人员迅速脱离现场至空气新鲜处,保持呼吸道通畅。

建设方应将本项目相关应急救援内容补充进职业病危害措施和应急预案中。

(3) 急性职业中毒事故的现场急救

A. 迅速撤离现场:急性中毒事故发生后,应迅速将受毒物侵害的人员移离至事故现场上风向的安全地带,以免毒物继续侵入、医务人员根据病情迅速分类,进行相应的诊治。救护人员现场救护病人时,要有自我保护意识,做好个人防护。

B. 心肺脑复苏:中毒者救出事故现场后,应安静休息,保持呼吸通畅,必要时给予吸氧;如呼吸、心跳停止,应立即进行心肺复苏;

C. 对意识丧失的病人,应注意瞳孔、呼吸、脑干及血压变化。

(二) 预防性告知

1)施工期职业病危害防护

拟建项目在本次评价报告编写完成日期之前尚未确定施工单位,建议建设单位选择有职业病危害防护能力的施工单位进行项目施工。根据建筑行业职业病危害预防控制规范有关规定,本项目在施工过程中,项目经理部应根据施工现场职业病危害的特点,采取以

下职业病危害防护措施:

选择不产生或少产生职业病危害的建筑材料、施工设备和施工工艺;配备有效的职业病危害防护设施,使工作场所职业病危害因素的浓度(或强度)符合 GBZ 2.1 和 GBZ 2.2 的要求。职业病防护设施应进行经常性的维护、检修,确保其处于正常状态。

配备有效的个人防护用品。个人防护用品必须保证选型正确,维护得当。建立、健全个人防护用品的采购、验收、保管、发放、使用、更换、报废等管理制度,并建立发放台账。

制定合理的劳动制度,加强施工过程职业卫生管理和教育培训。

可能产生急性健康损害的施工现场设检测报警装、警示标识、紧急撤离通道和泄险区域等。

如果存在密闭空间作业的情况,按照密闭空间作业职业危害防护规范GBZ/T205 的有关规定采取必要的防护措施。

施工单位员工的健康体检参考职业健康监护技术规范GBZ188中的相关要求执行。

在高温天气期间,日最高气温达到 40℃以上,应当停止当日室外露天作业;日最高气温达到 37℃以上、40℃以下时,用人单位全天安排劳动者室外露天作业时间累计不得超过 6小时,连续作业时间不得超过国家规定,且在气温最高时段3小时内不得安排室外露天作业;日最高气温达到 35℃以上、37℃以下时,用人单位应当采取换班轮休等方式,缩短劳动者连续作业时间,并且不得安排室外露天作业劳动者加班。用人单位应当为高温作业、高温天气作业的劳动者供给足够的、符合卫生标准的防暑降温饮料及必需的药品。

施工单位在项目建设结束后向建设单位提供建设施工过程职业病危害防治总结报告。

2)建设单位应当按照可研阶段职业病危害防护设计原则以及本预评价报告提出的防护措施建议,进一步委托具有相应资质的设计单位编制职业病防护设施设计专篇,并组织有关职业卫生专家对职业病防护设施设计专篇进行评审。

3)在本项目职业病危害预评价报告完成后,如果遇有生产规模、生产工艺、设备或者职业病危害因素的种类、防护设施等发生变更时,应当重新进行职业病危害预评价与职业卫生“三同时”。

4)在建设过程中应当确保项目防护设施设计和本预评价报告中提及的各项职业病预防与控制措施的落实。项目如需进行试生产,其配套建设的职业病危害防护设施必须与主体工程同时投入试运行。在试运行期间,应当对职业病防护设施和工作场所职业病危害因素进行检测,并在试运行1~6个月内进行职业病危害控制效果评价。

5)项目投入试生产运行后,其职业病危害防护设施等有关职业卫生“三同时”内容须经验收合格后方可正式投产。建设项目未经职业卫生“三同时”验收或验收不合格的,不得投入生产或使用。

6)认真开展上岗前的职业健康检查制度,新招聘的作业人员若在工作中接触职业病危害,建设单位应及时开展相关人员的上岗前职业健康检查,避免有职业禁忌证的工人接触相应的职业病危害因素。

7)应根据中华人民共和国劳动合同法的相关规定,落实职业病危害的合同告知制度,在合同中如实告知劳动者工作内容、工作地点、工作条件、工作时间和休息休假、劳动报酬、社会保险、劳动条件与劳动保护、职业危害和职业危害防护、安全生产状况、劳动者要求了解的其他情况以及法律、法规规定应当纳入劳动合同的其他事项。

8)依据国家安全生产监督管理总局令2012年第47号工作场所职业卫生监督管理规定第二十条规定:存在职业病危害的用人单位,应当委托具有相应资质的职业卫生技术服务机构,每年至少进行一次职业病危害因素检测。职业病危害严重的用人单位,除遵守前款规定外,应当委托具有相应资质的职业卫生技术服务机构,每三年至少进行一次职业病危害现状评价。检测、评价结果应当存入本单位职业卫生档案,并向安全生产监督管理部门报告和劳动者公布。建设单位应建立职业卫生相关管理制度以及确保专项资金落实。